شرکت مهندسی بسافن

سامانه‌ آزمایشگاهی پردازش پلاسما تحت خلأ به منظور ایجاد خواص مختلف بر روی انواع سطوح و اجسام یک‌بعدی و دوبعدی طراحی و ساخته شده است.

کاربردهای گوناگون این سامانه عبارتند از:
• ایجاد انواع گروه‌های عاملی
• تمیزکاری سطوح
• بهبود خواص رنگ‌پذیری و چسبندگی
• ضد نمدی کردن
• نشاندن انواع لایه پلیمری ضدآب و کندسوزکننده و لایه‌های پلیمری با خواص مورد نظر دیگر.

صنایعی که می‌توانند از خدمات این سامانه بهره برند:
• صنایع نساجی: پوشش‌های آب‌گریزکننده و یا آب‌دوست‌کننده دائمی.
• صنعت کفش: تولید کفش‌های خودتمیزشونده.
• صنایع الکترونیک: پوشش ضدخوردگی و ضدآب بردهای الکترونیکی
• صنایع خودروسازی: افزایش چسبندگی رنگ در قطعات پلاستیکی مورد استفاده.
• صنایع فیلتر: افزایش راندمان و طول عمر فیلترهای هوا.
• صنایع باطری‌سازی: افزایش راندمان و جریان‌دهی و طول عمر باطری.
• صنایع تولید پودر و وکس: افزایش خاصیت انحلال پذیری.
• صنایع رنگ، رزین، پلیمر و چاپ: ایجاد خاصیت چسبندگی رنگ و چسب و رزین و جوهر.
• صنایع پزشکی: پوشش های پایدار گرید پزشکی آب‌دوست و آب‌گریزکننده.
• مراکز دانشگاهی و تحقیقاتی: سیستم‌های پلاسما پلیمریزاسیون و پردازش پلاسما.

درخواست خدمات پردازش پلاسمای تحت خلأ

نام و نام خانوادگی	ورودی نامعتبر است
ایمیل (*)	ورودی نامعتبر است
شماره تماس (*)	ورودی نامعتبر است
جنس محصول مورد نظر برای پردازش (*)	ورودی نامعتبر است
خاصیت مورد نظر (*)	ورودی نامعتبر است
توضیحات	ورودی نامعتبر است
کد امنیتی (*)	ورودی نامعتبر است

منابع تغذیه ولتاژ بالای بسافن در ولتاژهای 1000 تا 120000 ولت ارائه می‌شود. از مهم‌ترین ویژگی‌های منابع تغذیه ساخت بسافن، به ویژه در منابع ولتاژ بالا، مصرف انرژی کم در مرحله خروجی و ابعاد کوچک آنها است. پایداری بالا، قابلیت کنترل از راه دور، پروب و کانکتور جداشونده ولتاژ بالا، جریان خروجی قابل کنترل، مدیریت آرک و انواع حفاظت، نمایشگر ولتاژ و جریان و پنل رابط کاربر موجب شده که این منابع تغذیه ولتاژ بالا یک محصول صنعتی قابل اطمینان باشند .

effect of RF Plasma treatment on the surface activation of the Polycarbonat substrate

منابع تغذیه متناوب، ساخت شرکت بسافن، در باندهای فرکانسی مختلف به صورت تک‌فرکانس و یا پوشش بازه‌های فرکانسی خاص و همچنین گستره‌ی وسیعی از توان و ولتاژ ساخته می‌شود. مدل‌های مختلف این محصول در جدول زیر دسته‌بندی شده است:

این تجهیز یک سامانه پردازش پلاسمایی تحت خلاء می باشد که به منظور ایجاد خواص مختلف بر روی منسوج و اشیاء دو بعدی و سه بعدی قابل استفاده می باشد.
از طریق پنل کنترل و نمایش دستگاه می‌توان پارامترهای مختلف را عملیات در در دو مد دستی و خودکار تنظیم و عملکرد سامانه را کنترل کرد. در هر دو مد کاری می توان پارامتر ها، شامل فشار کار، مقادیر گاز و مونومر تزریقی و زمانبندی های مختلف و ... را در تنظیم و مانیتور کرد.
از کاربردهای خاص اين دستگاه، ایجاد خواص آبدوستی، آبگریزی، ضد لک و روغن کردن، کند سوز کردن و ...می باشد. خواص را می توان بر روی پارچه، کفش، لباس، برد های الکترونیکی و انواع زیر لایه های پلیمری و کامپوزیتی و ... ایجاد کرد.

 اجزای سازنده این دستگاه به شرح زیر می‌باشد:

1. محفظه خلاء
2. پمپ و اتصالات و گیج و شیر های خلاء
3. منبع تغذیه پلاسما دارای طراحی مخصوص توسط سازنده
4. منابع تغذیه مختلف
5. برد کنترل
6. سیستم کنترل و مانیتورینگ plc و HMI
7. هیتر ها و سنسورهای مختلف دما.
8. الکترود های پلاسما
9. شاسی و بدنه و کاور
10. کابل و اتصالات
11. سیستم تهویه

ژنراتورهای فرکانس رادیویی (RF ژنراتور) شرکت بسافن دستگاهی قابل اعتماد برای فرایندهای صنعتی و آزمایشگاهی لایه‌نشانی و یا تولید پلاسما و یا حتی گرمایش و ذوب دی‌الکتریک است. این دستگاه همچنین از اجزای مهم سامانه‌های ساخت نیمه‌هادی‌ها است که از آن‌ برای تولید مدارات مجتمع (ICها) یا تراشه‌های موجود در کامپیوترهای مدرن و تجهیزات الکترونیکی استفاده می‌شود. RF ژنراتورهای بسافن به همراه شبکه تطبیق امپدانس آن مجموعۀ کامل مولد پلاسمای RF را تشکیل می‌دهند. 
RF ژنراتور به درخواست کاربر در یکی از فرکانس‌های 27/12 و 13/56 و 2 مگاهرتز و یا باند سفارشی دیگر طراحی و ساخته می‌شود.

چرا 13.56 مگاهرتز؟
این فرکانس یکی از پرکاربردترین باندهای بین‌المللی آزاد ISM است. یعنی جزو فرکانس‌هایی است که کاربرد صنعتی، علمی و پزشکی دارد. در این باند اجازه فعالیت‌هایی حتی در حد توان بالا وجود دارد بدون این که اختلالی در سیستم مخابراتی اطراف به وجود آید، زیرا باندی است که برای استفاده عمومی اختصاص یافته است. در این باند از مولدهایی با توان چند میلی‌وات تا چند صد کیلووات استفاده می‌شود.
معرفی ژنراتورهای فرکانس رادیویی (RFژنراتور) بسافن
ژنراتورهای فرکانس رادیویی بسافن با فرکانس کار 13/56 مگاهرتز و توان خروجی متغیر، پیشرفته‌ترین مولدهای قابل دسترس در بازارِ تجاری حال حاضر ایران هستند. طراحی این مولدها مجموعه‌ای است از هنرهای الکترونیکِ فرکانس رادیویی، حفاظت‌های توسعه‌یافته‌ی تقویت‌کننده توان، کنترل حلقه بسته و حاشیه امنیت بالایِ لحاظ‌شده در طراحی‌ها. قابلیت ساخت و بازسازی آسان و بازده بسیار بالا از دیگر قابلیت‌های منحصر به فرد این محصول است.
ایمن بودن از نظر ایجاد تداخلات الکترومغناطیسی، قابلیت کار پیوسته، کنترل و کاربری آسان، اعلام نوع خطاهای رخ‌داده، نمایش توان انتقالی و انعکاسی، دریافت ورودی صفر تا پنج ولت برای کنترل توان خروجی ژنراتور (به صورت انتخابی)، دارا بودن خروجی آنالوگ برای مقادیر توان انتقالی و انعکاسی (به صورت انتخابی)، قابلیت محدود کردن توان انعکاسی، سیستم خنک‌‌کننده هوای فشرده از ویژگی‌های دیگر این محصول است. بسافن این محصول را در مدل‌های 100 تا 15000 وات با اجزای نیمه‌هادی و تا 100 کیلووات با تقویت‌کننده مبتنی بر لامپ خلأ تولید می‌کند.

مدل‌های ژنراتورهای RF

• RF ژنراتور 200 وات
• RF ژنراتور 300 وات
• RF ژنراتور 600 وات
• RF ژنراتور 1000 وات
• RF ژنراتور 2000 وات
• RF ژنراتور 5000 وات

تمامی مدل‌های ژنراتورهای RF و جعبه تطبیق امپدانس (Match Box) دارای 18 ماه گارانتی هستند.

•  در صورت نیاز به مشاوره یا هرگونه سوال، با کارشناس فنی شرکت بسافن به شماره تلفن 66033430 تماس بگیرید یا از طریق ایمیل آدرس  این آدرس ایمیل توسط spambots حفاظت می شود. برای دیدن شما نیاز به جاوا اسکریپت دارید   مکاتبه کنید.

 ژنراتورهای فرکانس رادیویی به صورت استاندارد با امپدانس خروجی 50 اهم طراحی و ساخته می‌شوند و از آنجایی که محفظه یا مشعل پلاسما یا اغلب بارهای دیگر که نیاز به اعمال توان RF دارند، دارای امپدانس معادل غیر 50 اهم و معمولاً همراه با بخش سلفی و خازنی می‌باشند. بنابراین برای جلوگیری از انعکاس توان ارسال‌شده توسط ژنراتور و حفاظت مولد RF و به حداکثر رساندن توان رسیده به بار و تکرارپذیر کردن فرایندها و همچنین فراهم آوردن شرایط شدت میدان لازم در محفظه قبل و بعد از تشکیل پلاسما نیاز به سامانه‌ای است که امپدانس معادل بار را به امپدانس ژنراتور تغییر سطح دهد. این کار توسط شبکه تطبیق امپدانس که با نام مچ باکس (Matchbox) نیز شناخته می‌شود، انجام می‌گیرد. 

در حالت معمول و استاندارد شبکه تطبیق برای محدوده امپدانسی بین 3 تا 35 اهم ساخته می‌شود، اما با توجه به دانش فنی و تجربه عملی موجود در شرکت بسافن، امکان ارائه شبکه‌های تطبیق برای انواع بارها مانند اسپاترگان و RIE و یا بارهای با کوپلاژ خازنی و القایی و یا بارهای پیچیده مانند چشمه یون هلیکون یا ICP اتمسفری دارای دو مد E و H و یا تورچ‌های پلاسمای اتمسفری و بارهای دارای رنج‌های امپدانسی غیر استاندارد و غیر معمول وجود دارد.
جعبه تطبیق امپدانس در شرکت بسافن در دو نوع دستی و اتوماتیک ساخته می‌شود.

شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک
شبكه‌هاي تطبيق امپدانس خودكار بسافن، ATN-xx-BF، شرايط تطبيق مولد فركانس راديويي را در كاربردهايي مانند PECVD، HDPCVD، اسپاترينگ، اشينگ و غيره فرآهم مي‌آورند. شبكه‌هاي تطبيق بسافن با كمك درايو موتورهاي DC عمليات تطبيق را انجام مي‌دهند. سامانه تطبيق اتوماتيك بسافن امپدانس محفظه پلاسما را به 50 اهم تغيير سطح مي‌دهد تا حداكثر توان از مولد به محفظه برسد.
شبكه‌هاي تطبيق اتوماتيك بسافن در سه مد مستقل کار خود را انجام می‌دهد. مد اتوماتيك به طور پيوسته تغييرات امپدانس محفظه پلاسما را جبران مي‌كند. مد دستي به كاربر اجازه مي‌دهد تا در حين پروسه مقادير خازن‌هاي تطبيق‌كننده را تغيير دهد. در مد تنظيم پریست (PRESET)، كاربر مي‌تواند در شروع كار به صورت خودكار خازن‌ها را در مقداري نزديك به شرايط تطبيق كامل تنظيم كند تا تطبيق با سرعت بيشتري انجام شود.
از طریق پنل جلویی دستگاه كنترلر و همچنين اتصالات VGA می‌توان پارامترهای مختلف را تنظیم و عملکرد آن را کنترل کرد. مقادیر مكان خازن‌ها را می‌توان بر روی نمایشگر آنالوگ دستگاه مشاهده نمود.
از کاربردهای خاص اين دستگاه توليد پلاسما به منظور مصارف گوناگون نظير مراحل مختلف لايه‌نشاني، اسپاترینگ، اچینگ (etching)، تمیزسازی (cleaning) و همچنین براي ساخت قطعات ميکروالکترونيک و فن‌آوري نانو مي‌باشد.
از جمله ویژگی‌های بسیار مهم شبکه‌های تطبیق امپدانس ATN-xx-BF بسافن سرعت عمل بسیار بالا و در حدود 2 ثانیه برای تشکیل پلاسما و انجام تطبیق کامل برای بارهای استاندارد می‌باشد.
در شکل زیر نمای دستگاه را مشاهده می‌نمایید.

نمای کلی شبکه تطبیق مدل ATN-xx-BF

نمای جلو کنترلر

مدل‌های شبکه‌های تطبیق امپدانس (مچ باکس) اتوماتیک بسافن:

•  شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک 3   کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز
• شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک 4.5 کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز
• شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک 9    کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز
• شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک 15  کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز
• شبکه تطبیق امپدانس اتوماتیک 25  کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز

شبكه‌هاي تطبيق امپدانس دستی بسافن

شبكه‌هاي تطبيق امپدانس دستی بسافن، MTC-xx-BF، شرايط تطبيق مولد فركانس راديويي را در كاربردهايي مانند PECVD، HDPCVD، اسپاترينگ، اشينگ و غيره فرآهم مي‌آورند. شبكه‌هاي تطبيق بسافن با كمك ولوم‌های مدرج واقع در پنل جلوی دستگاه عمليات تطبيق را انجام مي‌دهند. سامانه تطبيق دستی بسافن امپدانس محفظه پلاسما را به 50 اهم تغيير سطح مي‌دهد تا حداكثر توان از مولد به محفظه برسد. از کاربردهای خاص اين دستگاه، توليد پلاسما به منظور مصارف گوناگون نظير مراحل مختلف لايه‌نشاني اسپاترینگ، اچینگ (etching)، تمیزسازی (cleaning) و همچنین براي ساخت قطعات ميکروالکترونيک و فن‌آوري نانو مي‌باشد.
از ویژگی‌های مدل MTC-xx-BF می‌توان به قیمت مناسب و محدوده امپدانسی وسیع و حتی محدوده امپدانسی سفارشی اشاره کرد. همچنین وجود گیربکس در ساختار آن دقت تنظیم را افزایش داده است.

مدل‌های شبکه‌های تطبیق امپدانس (مچ باکس) دستی بسافن:

• •  شبکه تطبیق امپدانس دستی 3   کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز
  • شبکه تطبیق امپدانس دستی 4.5 کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز
  • شبکه تطبیق امپدانس دستی 9    کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز
  • شبکه تطبیق امپدانس دستی 15  کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز
  • شبکه تطبیق امپدانس دستی 25  کیلو ولت، 13/56 مگاهرتز

•  در صورت نیاز به مشاوره یا هرگونه سوال با کارشناس فنی شرکت بسافن به شماره تلفن 66033430 تماس بگیرید یا از طریق ایمیل آدرس  این آدرس ایمیل توسط spambots حفاظت می شود. برای دیدن شما نیاز به جاوا اسکریپت دارید  مکاتبه کنید.

این سامانه از روش سد دی‌الکتریک استفاده می‌کند که نوعی تخلیه گاز به وسیله قرار دادن سد در ناحیه تخلیه است و پلاسمای سرد را به طور موثر تولید ‌می‌کند. از ویژگی‌های آن قابلیت تنظیم فرکانس و دامنه میدان اعمالی به الکترودها برای دست‌یابی به پلاسمای کاملاً یکنواخت‌ و همچنین قابلیت تنظیم مدت زمان پردازش می‌باشد. سامانه پلاسمای DBD ساخت بسافن قابلیت کار در فشار اتمسفر و همچنین قابلیت کار در فشار پایین‌تر از اتمسفر (مد وکیوم) را نیز دارد که در بسیاری از پردازش‌ها می‌تواند نتایج مطلوب‌تری و کنترل‌شده‌تری ایجاد کند.

این ویژگی‌ها این نوع پلاسما را به ابزاری پرکاربرد و موثر در حوزه‌های پزشکی، زیست‌فناوری، صنایع چاپ و بسته‌بندی، کشاورزی، شیمی، پلیمر و ... تبدیل کرده است. پلاسمای سد دی‌الکتریک را می‌توان با به‌کارگیری دو الکترود، که یکی از آن‌ها با لایه دی‌الکتریک پوشانده شده و فاصله بین دو الکترود چندین میلی‌متر است، در محدوده ولتاژ بالا تولید کرد. وجود سد دی‌الکتریک باعث محدود شدن جریان و پایین نگهداشتن دمای پلاسما می‌شود.

امروزه در طیف گسترده‌ای از تجهیزات و کاربردها، منابع تغذیه ولتاژ بالا مورد نیاز است. در این میان منابع تغذیه سوئیچینگ با توجه به وزن کمتر و بازدهی بیشتر ترجیح داده می‌شود. منابع تغذیه ولتاژ بالای بسافن در محدوده ولتاژی 1 تا 120 کیلوولت ارائه می‌شود. از جمله ویژگی‌های منابع تغدیه ساخت بسافن، به‌ویژه در محدوده ولتاژهای بالاتر از 20 کیلو ولت، اندازه و وزن کمتر آن نسبت به نمونه‌های مشابه موجود در بازار است. به عنوان مثال، در مدل 40Kv، هزار وات با پروب خروجی جداشونده و امکانات کامل که در ادامه ذکر شده است، اندازه تغذیه 50 × 22 ×18cm (طول × عرض × ارتفاع) و وزن حدود 10 کیلو‌گرم است. 
پایداری بالا، قابلیت کنترل ریموت، پروب و کانکتور جداشونده ولتاژ بالا و همچنین قابلیت اعمال کنترل بر جریان خروجی، مدیریت آرک و انواع حفاظت، نمایشگر ولتاژ و جریان و پنل رابط کاربر موجب شده که این تغذیه‌های ولتاژ بالا یک محصول صنعتی قابل اطمینان باشد. 

سوئیچ RF به منظور اتصال یک منبع به چندین مصرف کننده استفاده می شود.  از کاربردهای خاص این سوئیچ های توان بالای RF می توان به سوئیچ خروجی ژنراتور فرکانس رادیویی بین چندین الکترود یا گان اسپاترینگ اشاره کرد