سامانه تطبيق اتوماتيك بسافن امپدانس محفظه پلاسما را به 50 اهم تغيير سطح ميدهد تا حداكثر توان از مولد به محفظه برسد.
شبكههاي تطبيق اتوماتيك بسافن در سه مد مستقل عمل خود را انجام میدهد. مد اتوماتيك به طور پيوسته تغييرات امپدانس محفظه پلاسما را جبران ميكند. مد دستي به كاربر اجازه ميدهد تا در حين پروسه مقادير خازنهاي تطبيق كننده را تغيير دهد. در مد تنظيم پریست، كاربر ميتواند در شروع كار به صورت خودكار خازنها را در مقداري نزديك به شرايط تطبيق كامل تنظيم كند تا تطبيق با سرعت بيشتري انجام شود.
از طریق پنل جلویی دستگاه كنترلر و همچنين اتصالات VGA میتوان پارامترهای مختلف را تنظیم و عملکرد آن را کنترل کرد. مقادیر مكان خازنها را میتوان بر روی نمایشگر آنالوگ دستگاه مشاهده كرد.
از کاربردهای خاص اين دستگاه، توليد پلاسما جهت مصارف گوناگون نظير مراحل مختلف لايهنشاني (cleaning، etching، sputtering،...) و همچنین ساخت قطعات ميکروالکترونيک و فنآوري نانو ميباشد.
تمامی مدلهای ژنراتورهای RF و جعبه تطبیق امپدانس (Match Box) دارای 18 ماه گارانتی میباشند.
ویژگیها و قابلیتها
- تطبیق اتوماتیک محدوده امپدانسی وسیع.
- کنترل- نمایش تمام پارامترها.
- قابلیت کنترل کامل از راه دور.
- دارای سه مد كاري: دستی، خودکار وpreset.
- دارای نمایشگر دیجیتالی مکان خازنها وآلارم محدودیت خازنها.
- تنظیم مکان خازنها در مد دستی با کمک ولوم دیجیتالی هرزگرد از طریق پنل کنترل.
- دارای باکس کنترل یک یونیت قابل نصب دررک.
- دارای باکس تطبیق مجزای قابل نصب در محل محفظه.
-
داراي مجموعه خازنهاي رزروي و همچنين تبهاي تغيير سلف بهمنظور افزايش محدوده امپدانسي بار.
- داراي شيلدينگ مناسب براي جلوگيري از تشعشع و ايجاد نويزهاي EMI داراي ملاحظات لازم براي حفظ سلامت كاربر.
