شبكههاي تطبيق امپدانس دستی بسافن، MTC-xx-BF، شرايط تطبيق مولد فركانس راديويي را در كاربردهايي مانند PECVD، HDPCVD، اسپاترينگ، اشينگ و غيره فرآهم ميآورند. شبكههاي تطبيق بسافن با كمك درايو موتورهاي DC عمليات تطبيق را انجام ميدهند. سامانه تطبيق دستی بسافن امپدانس محفظه پلاسما را به 50 اهم تغيير سطح ميدهد تا حداكثر توان از مولد به محفظه برسد.
شبكههاي تطبيق دستی بسافن در یک مد دستی عمل خود را انجام میدهد. در مد دستي به كاربر اجازه ميدهد تا در حين پروسه مقادير خازنهاي تطبيقكننده را تغيير دهد.
از طریق پنل جلویی دستگاه میتوان مقادير خازن ها را تنظیم و عملکرد آن را کنترل کرد. مقادیر مكان خازنها را میتوان بر روی نمایشگر دستگاه مشاهده كرد.
تمامی مدلهای ژنراتورهای RF و جعبه تطبیق امپدانس (Match Box) دارای 18 ماه گارانتی میباشند.
مشخصات فنی
تغذيه ورودي | 220 ولت (200 تا 240) و50 هرتز(50 تا60 هرتز) |
ماكزيمم توان RFورودي (وات) و حداكثر ولتاژ-جريان خروجي | 1000 وات براي بار استاندارد مانند اسپاترينگ ( محدود شده بر اساس حداكثر ولتاژ خروجي 4.5 كيلو ولت و حداكثر جريان 20 آمپر) |
فركانس | 13.56 مگاهرتز |
پهناي باند | 5% |
توپولوژي شبکه | شبكه L |
حداكثر ولتاژ خازن سري | 4.5 كيلو ولت |
حداكثر جريان خازن سري | 20 آمپر |
امپدانس خروجي | رنج استاندارد 5 تا 30 اهم. تطبيق كاتد اسپاترينگ را تارنج وسيعي انجام مي دهد. |
دماي کاري | 10 تا 40 درجه سانتيگراد |
نوع خنکسازي | تهويه هوا و آب |
کانکتور ورودي | مادگي N |
کانکتور خروجي | مادگي 7/16 |
ابعاد(سانتيمتر) | 45 × 25 ×14 ( طول × عرض × ارتفاع) |
وزن | 4 کيلوگرم |
جنس جعبه | آلومينيوم |
- در صورت نیاز به مشاوره یا هرگونه سوال با کارشناس فنی شرکت بسافن به شماره تلفن 66033430 تماس بگیرید یا از طریق ایمیل آدرس این آدرس ایمیل توسط spambots حفاظت می شود. برای دیدن شما نیاز به جاوا اسکریپت دارید مکاتبه کنید
